低温等离子清洗的参数设定步骤包括：将样品放入处理腔内，启动真空泵，将腔压降至100 Pa以下；开启工艺气体通道（如空气等），再开启放电电源进行处理，最后取出样品。

等离子体表面处理通过等离子体与材料表面的接触作用来改变表面性质。常用非聚合性气体如Ar、N2、H2、O2等参与反应，介入表面改性过程。

电子在等离子体中质量小、运动速度快、能量高。电子与表面的相互作用主要表现为三种：电子轰击引发的次级电子发射、电子轰击促使表面吸附分子解离，以及电子诱导的化学反应等。

离子与表面的作用可归纳为三类：离子在表面的复合与入射引发的次级电子发射、离子注入使晶格原子激发或电离并传递动量、入射离子被表面反射或捕获，同时轰击还可能导致表面粒子溅射和表面化学反应等。伟德国际1946

自由基和原子与表面的相互作用，通常自由基与原子易在惰性的母体分子覆盖的表面发生化学吸附。电子碰撞激发产生的亚稳态分子易被解激发，解激发过程可能引发相应的化学反应和脱附。

等离子体处理具有清洁、环境友好且对材料整体性能影响较小的特性，广泛用于提升材料的润湿性与界面粘结性等。与放射线、电子束等干式工艺相比，等离子体表面处理的独特性在于作用深度仅限于材料表面几纳米至几十纳米范围，主要改变表面的物理和化学性质而不改变材料本身的性质。因此，低温等离子体技术成为改善材料界面结合效果的重要手段。