什么是电浆，它是如何产生和维持的，以及它是如何与物质表面相互作用的。电浆中的大量离子、激发态分子、自由基等多种活性颗粒作用于固体样品表面，不仅能去除表面原有的污染物和杂质，还能起到腐蚀作用，使样品表面变粗糙，形成许多细小凹陷，使样品的比表面积增大。改善固体表面的润湿性。

　　电子的电场加速以及在足够低的压力下对中性原子或场线的弹性散射的联合作用，使电子受热。中性气体中的电子获得超过电离阈的动能时，电子的中性碰撞导致进一步电离，从而产生额外的自由电子，这些电子被依次加热。

　　作用于材料表面作用：电浆等离子体处理只影响材料的近表面，对材料的块状性质没有影响。与许多湿洗工艺不同的是，电浆等离子清洗不会留下有机残留物；在适当的条件下，等离子清洗可完全除去污染物，从而产生“原子洁净”的表面。不像水洗溶液，等离子体不受表面张力的限制，能清洁粗糙、多孔或不平整的表面。在近环境温度下进行等离子体处理，可减少对热敏材料的破坏。

　　电浆表面处理设备工艺具有一定的灵活性和一致性，根据工艺气体和使用情况，等离子处理可用于表面特性的清洁，激活，清洗和改性变化。等离子体会与多种材料发生反应，因此，等离子体还能处理由不同材料制成的元件。